1977,趕山打獵娶女知青_第1364章 膜厚控制(1)
八月三號,鵬城,實驗樓三層。
錢院士帶了十二個人,關在機房裡,三天沒出來。
手冊拆開之後,問題比想象的多。蔡司的鍍工藝用的是磁控濺加離子束輔助沉積,兩套系統配合,度要求到了亞納米級別。
錢院士的助手小周拿着打印出來的參數表,站在設備前,對了半天。
“錢老,咱們這台濺設備,靶材轉速最高到三千轉,手冊上要求四千五。”
錢院士走過來,看了一眼參數。
“厚控制呢?”
小周翻到第三頁:“手冊要求單層厚度誤差不超過零點零二納米。咱們這台設備最好做到零點零八,差四倍。”
錢院士把參數表放下,摘了老花鏡。
設備不夠——這是傷。
他打給張紅旗。
“紅旗,設備度不夠。手冊里的工藝,咱們現有的機跑不了。”
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