聲明發布後，星源探索與深藍半導並未陷被防守，反而主發起反擊。

法務團隊同步向鷹醬、歐洲等地法院提反訴材料，直指專利聯盟的32項核心專利存在“技方案公開在先”“專利範圍模糊”等無效形。

其中17項專利與星海系早年申請的基礎專利存在衝突，要求法院宣告相關專利無效，並賠償惡意訴訟造的商業損失。

技團隊則聯合多家國際權威檢測機構，發布《28納米刻設備技路徑白皮書》。

用詳實的研發日誌、實驗數據、專利申請記錄，完整還原深藍半導極紫外源、晶圓傳輸結構等核心技的自主研發脈絡，逐一駁斥聯盟的侵權指控。

白皮書明確指出，深藍半導的極紫外源採用“多層反+激脈衝聚焦”技方案，與阿斯麥的“浸沒式深紫外+二次曝”路徑存在本質區別；

晶圓傳輸的機械結構通過“磁懸浮定位+真空封”實現高度控制，與聯盟企業的“機械導軌+大氣封”設計毫無關聯，所謂“侵權”純屬無稽之談。

與此同時，楚千瀾下令啟“專利壁壘強化計劃”。

深藍半導連夜梳理出186項刻設備衍生專利，星源探索補充230項芯片設計與材料專利，同步向全球主要國家和地區提申請，形覆蓋核心技、外圍應用、工藝改進的全鏈條專利網，讓專利聯盟的後續訴訟陷“舉證難、勝訴難”的困境。

資本市場的反應同樣超出預期。訴訟公告發布次日，星源探索與深藍半導的關聯概念不僅未下跌，反而逆勢上漲。

投資者普遍認為，星海系的技自主實力與專利儲備足以應對訴訟，而專利聯盟的聯合圍剿更反襯出其技的核心競爭力。

尤其是星源探索上次贏得專利司，更是讓投資者與機構信心滿滿。

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