屆時就該到海外三大eda公司飛狗跳。

念頭停留在這裡，他短暫駐足腳步，回頭迎上兩位院士的目應和上一句。

“在絕對的理論技差距面前，他們能夠做的，也就是拙略不堪的抹黑質疑了。”

說完幾人爽朗笑出聲來，同時加快了腳上速度。

國產刻機的鏡系統相對來說是弱項，比着有着上帝之眼稱號的蔡司，在技上面確實要落後上不，這也是國產刻機工藝度無法突破的一項原因。

不過徐銘研發出的全新極紫外源，放棄了傳統意義上的轟擊錫滴技，並且源的純度也足夠的高。

如此縱使國產鏡反率稍低，在幾乎全是純凈的極紫外下，真正被吸收產生有害熱量的無效能量，基本上可以說是微乎其微，相當於用源的譜純度來抵消反系設計的複雜不足。

再加之新源轉換效率高，且廢熱集中在可主冷卻的基底上，傳遞到鏡的熱負荷降低了一個數量級以上。

就象一個待在空調房的人，而不是待在鍊鋼爐旁。

以至於系統熱穩定主要靠源保障，而不是鏡的後天補償。

通過這種方式，既解決了國產鏡問題，又能加快逐極紫外刻機的研發速度。

確保在最短時間投使用。

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