第1885章

“秦總，您提出來的浸潤式刻機路線，完全正確，我們功地將193納米的源，降低到了134納米，而且沒有產生其他的不利後果，利用這種設備，我們足以把工藝製程推進到28納米以下！”

張汝金是最高興的，他的芯片廠，可以開足馬力生產了！

“對於目前已經的0.13微米生產工藝，我們只需要一次曝就能完，生產效率大幅度提升，本也能降低三分之一以上！”

之前用193納米的源，需要多次曝，才能實現0.13微米的工藝生產，當然，繼續多重曝，還能做到90納米，甚至是更小，但是業界都認為，65納米是多次曝的極限了。

現在，浸潤式刻機，功地把源降低到了134納米！0.13微米工藝，一次曝就行！繼續多重曝，28納米都不是夢，甚至還能繼續推進到幾納米的水平！

當然，那樣做良品率會下降得可怕，但是如果EUV刻機研發遇到難題的時候，也可以先湊合。

徐教授在一旁，也很是驕傲，這幾年，來集團一直在砸錢，支持他的研發，燒掉了十幾億，終於，國產刻機搞出來了，還是全世界最先進的！

還好，沒有給集團丟臉，集團不管搞什麼，都要搞到世界第一！

“秦總，我們的芯片工廠......”一旁傳來了威盛公司負責人的聲音。

威盛因為到了迫害，不得不搬回了大陸，和中芯國際挨着，因為沒生產工廠，現在只剩下設計芯片的能力。

他們也在等待着自己的芯片工廠呢！

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