沒有多人知道，由院長鄧輝院士和所長錢富強研究員率領源研究所的140多名研發人員，經過近3年的潛心研究，在1999年7月就掌握了浸沒式刻系統技，研發功全球第一台65n程工藝的浸沒式刻機試驗機，避免刺激國，秘而不宣，到去年6月17日才公開。

從1999年8月開始立項，BSEC投資1億元，鄧國輝和錢富強帶領刻機源研究所，靜下心來開始研發EUV的同時，在65n程工藝浸沒式刻機的基礎上，經過近六年的潛心研究，研發功45n程工藝浸沒式刻機就不足為奇了。

源研究所所長錢富強研究員憑藉在全球頂尖刻機期刊上發表的30多篇專業論文，在全球刻機源行業有極高的威，主持研發功的65n程工藝浸沒式刻機是全球首創，國際領先技，有百億元的市場價值等重大貢獻，於去年11月，被遴選為工程院院士。

BSEC刻機研究院如今由鄧國輝、歐明、陳偉長、夏季常和錢富強等五位院士領銜，技實力國第一，在全球刻機研究機構中也是名列前茅。

BSEC刻機研究院包括刻機源研究所（所長錢富強院士）、硅片製造研究所（副院長兼所長歐明院士）、刻機學研究所（副院長兼所長陳偉長院士）、刻機自化研究所（所長夏季常院士）、刻膠研究所（所長劉明堂研究員）、刻蝕機研究所（所長陳運復研究員）、刻機熱理研究所（所長楊鴻濤教授）、掩版研究所（所長郭興程研究員）、離子注機研究所（所長景清雲教授）和刻機半導信息部（部長李廣均研究員）等九所一部。

近13年來，BSEC刻機研究院從國外招聘了2147名教授（副教授）、研究員（副研究員）、高工、博士和碩士，構建完了從刻機源、刻機學系統、刻機自化、硅片製造、刻膠、掩版、熱理、刻蝕機、離子注機和刻機半導信息部等完整的刻機半導技系和人才梯隊，制定了行之有效的人才培養制度，擁有相關技專利7231項，其中核心技專利79項。

招聘國外相關專業博士畢業生常年不斷。

如今BSEC每年申請公司發明專利近千項，相關科技果如雨後春筍，層出不窮。

BSEC在國不是孤軍戰，同中K院、華清、燕大、哈工大、西工大、國科大、華中大、滬海硅片製造廠、冰城源材料廠、金城激製造廠和金城金屬氣廠等60多家科研院所和公司建立了技和產品合作機制，聯合開發最新一代的單晶硅、源材料、激材料和刻氣等技項目，簽訂長期供貨合同，互利共贏。

不久的將來從這些合作公司中誕生幾家高科技上市公司只是時間問題。

如今，BSEC掌握了浸沒式刻機的核心技，研發功32n28n22n14n10n程工藝的浸沒式刻機只是時間問題，已經不擔心被人卡脖子。

生產7n5n程工藝高端芯片的EUV刻機是十幾年後的事。

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