第一六七九章 第二家新能源汽車生產基地

“林院長，同浸沒式刻機配套的浸沒式雙工作台系統能否同時量產並付使用？”

蔡力行明白林本堅是為了安張仲謀，台積電和AS合作研發浸沒式刻機的業務，張董事長給了林本堅，直接向他彙報，有些細節蔡力行也不清楚。

董事長兼CEO張仲謀負責台積電的戰略發展和重要投資，總經理蔡力行負責台積電的日常經營管理，副總經理兼研究院院長林本堅負責台積電的技，副總經理劉德銀負責生產，副總經理魏哲加負責銷售。

AS的主營業務是研製和銷售AS刻機和AS雙工作台系統，不生產和銷售半導生產線中的其他設備，即使AS 65n程浸沒式刻機量產，配套的刻蝕機、離子注設備、薄沉積設備、熱理設備、晶圓切割設備、C設備、半導檢測和量測設備、半導清洗設備、半導測試設備等都需要台積電想辦法解決，最後完系統集，即使台積電已經開工建設，但等65n程浸沒式刻機到位後，還需要半年多的時間配套、調試和系統集，2006年3月能夠量產就不錯了，可能比聯電晚半年左右。

如今全球能夠完65n程半導生產線配套的刻機廠商只有BSEC。

Intel、A和聯電為了搶時間，直接從BSEC預定全套半導生產線，開工建設，BSEC負責安裝、系統集、培訓員工和售後服務，雖然多花錢，但省時省力。

“蔡總，浸沒式與乾式刻機的雙工作台系統雖然在核心架構上存在部分兼容，但制於技特差異，無法通用，AS雙工作台系統研究實驗室只能等明年3月拿到量產的浸沒式刻機後，才能在90n程乾式雙工作台系統基礎上，升級改造65n程浸沒式雙工作台系統，能否在明年8月前量產？誰也不能肯定？這也是我最擔心的。”

林本堅雖然沒有參加過AS雙工作台系統的研發，但他知道，浸沒式同乾式雙工作台系統有很大的差別。

浸沒式雙工作台的表面塗層需備抗腐蝕，以應對長期接浸潤的工況；流產生的微振要求浸沒式雙工作台備更高頻的主減振能力；浸沒式雙工作台對運度要求呈指數級提升；浸沒式雙工作台需重新校準學與運控制系統……

林本堅這次私下問過AS雙工作台系統研究實驗室主任瓊斯，對方預計，將現有的90n程乾式雙工作台改造為65n程浸沒式雙工作台，需要增加30%左右的件本，件也需要重新升級，最需要半年的時間。

AS刻機研發中心雙工作台系統研究實驗室有50多名研發人員，瓊斯也不敢肯定6個月就能解決這些難題。

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