我的一九八五_第一六六七章 浸沒式光刻機面世(2)
AS採用兩條走路。
AS擁有全球第二款雙工作台系統,技實力僅次於GCA和Nikon,一旦研發功134n長的浸沒式刻機,技實力就會超過Nikon。
雖然浸式刻機的構思非常巧妙,但同EUC刻機相比,從工程角度看,並不難完,
鄧國輝和錢富強都擔心AS趕在BSEC的前面發布研發功浸沒式刻機,但一想到孫董事長旗下公司是AS的第二大東,就放下心來。
5月28日,GCA EUV刻機公司對外公開宣布,經過二年多的潛心研發,EUV刻機的核心部件EUV激研製功,並通過專家組的鑒定,並申請了國際發明專利,並向展示了一台EUV激和一台EUV刻機原型機。
EUV激獲取EUV源的辦法是將二氧化碳激照在錫等靶材上,激發出13.5n子,作為刻機源。
EUV激和EUV刻機原型機在全球引起極大的轟,阻礙全球半導產業發展的技瓶頸被國科學家攻克。
GCA同時宣布,GCA EUV刻機的量產還需要很長的時間。
得到消息的魏建國、鄧國輝和錢富強都知道BSEC公開推出浸沒式刻機不遠了。
工程院院士候選人不理個人申請,需要通過院士或有關學團提名,也可以同時通過以上兩種渠道提名。
錢富強研究員在全球頂尖刻機期刊上發表了30多篇專業論文,在全球刻機源行業有極高的威,主持研發功的浸沒式刻機是全球首創,國際領先技,有百億元的市場價值。
京城半導集團擁有4名刻機專業頂尖的院士。
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