前世，EUV刻機的聯合研發功幾乎近當時人類理學、材料學以及製造的極限，除了源功率要求極高，鏡和反鏡系統也極致，還需要真空環境，配套的抗蝕劑和防護的良品率也不高，別說AS或Nikon，就算是科技實力世界第一的國，以一國之力，完全自主製造一台EUV刻機，比登天還難。

EUV刻機被稱為人類工業皇冠上的明珠！

湯普森院士團隊雖然沒有研製功EUV，但研究果對GCA的源和學設備的不斷改進貢獻極大。

由於孫健重生，瀕臨破產倒閉的GCA浴火重生，重回全球刻機的龍頭企業之一，為EUV LLC聯盟的重要員，湯普森院士團隊專門研究EUV源7年，取得了不重要技果，EUV LLC聯盟研製功EUV刻機，肯定不需要15年。

GCA將為全球唯一生產EUV刻機的廠家，ATIC將為最大的益者，雖然孫健也樂見其，但以國人的格，極有可能讓ATIC出GCA的控權，嚴出口EUV到中國，這不是重生者願意看到的結果。

前世被國技封鎖，舉國之力，孫健穿越前沒有看到國產EUV刻機的影子。

經過一年多的努力，BSEC已經研究功8英寸晶圓、250n程工藝的刻機，正在抓時間研製180n程工藝的刻機。

製程工藝不斷突破對BSEC來說都是突飛猛進的進步，但同Nikon和GCA相比，還有2代技差距，沒有大肆宣傳，避免被仇視中國的國國會議員盯上。

不到10年時間，從4代技差距短到2代，BSEC的管理層和技人員都儘力了。

孫健知道，要是沒有65n程工藝這道難關擋在刻機業界的前面，有他出錢出力，BSEC在15年也很難趕上刻機技實力雄厚的GCA和Nikon。

連李昌傑都不知道，BSEC研究院院長鄧國輝院士和所長錢富強研究員率領源研究所的140多名研發人員，經過2年半的潛心研究，有孫健不斷“點撥”，終於在去年7月研製功浸沒式刻系統技，ArF激發的193n源通過純凈水的折，得到了波長134n源，解決了業界遇到的193n長的世界級難題，還沒有申請公司發明專利，秘而不宣。

只能委屈錢富強和140多名研發人員了。

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