對於蘇晨的話，其他工程師不敢公開質疑，但華總工程師仍忍不住反駁：

“蘇院士，據我所知，1納米工藝，哪怕在理論上也是很難實現的。要知道從刻技的發展來看，提高刻分辨力的主要路徑是增大投影鏡的數值孔徑、短曝波長和降低工藝因子。但無論是增大鏡還是短曝波長均極大的短了刻的有效焦深，所以就算把所有條件做到極致，也幾乎實現不了1納米工藝！”

聽他這樣說，蘇晨淡然答道：

“總工，我們可以用近軸照明模式解決這個問題！！”

“什麼——近軸照明模式？！”

此概念一出，全場為之一震。

蘇晨：“不錯！在傳統照明模式下，參與干涉像的是 ±1 級衍，並形了整背景，影響了傳統照明模式下的像對比度。而在近軸照明模式下，由於採用的傾斜，衍不再能夠全部通過有一定孔徑的像系統，不參與像的衍無法進像系統，避免了背景對像對 比度的影響，進而提高了像分辨力。”

！！！

蘇晨直指問題本質！

現場所有工程師都心呼：卧槽——

這帥比好像不止是學神……

竟能準確地說出近軸照明模式優勢，這可不是一般人能做到的！

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