二號車間。

厚重的鐵門一推開，一混着刻膠、清洗劑、機油和舊地磚味的熱浪撲面而來。對外頭來的人，這味道可能有點沖；對每天蹲在這兒的人，這就是“悉的氣味”。

幾位專家剛走進來，腳步不約而同慢了半拍。

車間里，機一排排排過去，刻機的罩在半暗的環境里泛着冷，擴散爐的爐管外壁是斑駁的銀，刻蝕機旁邊的氣管道纏着新包上的鋁箔保溫層，地上划著黃的安全線。

牆上着一溜新白紙——那是前幾天趕出來的SOP（標準作規程）。每一張都用明膠帶工工整整地粘好，上面寫着步驟、參數、注意事項，還有責任人簽名。

遠一台真空泵在低聲嗡嗡。

“專家們，這邊請。”老周了手，快步迎上來，藍工作服上別著一塊油跡斑斑的牌子，“我們先從刻工段看起？”

劉教授點點頭：“你們按工藝順序來。”

一行人沿着安全線往前走。

刻機旁邊的小桌上，放着一本厚厚的登記本。紙己經翻得有點起，但筆跡全新。

“這是你們的曝工藝記錄？”沈工手翻了幾頁。

上面一行行寫着日期、班次、晶圓批號、曝時間、強度、作員簽名，後面還有一欄備註，寫着“源不穩定，己更換燈泡”“遮罩更新”等小字。

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