憑藉一座圖書館,吊打全球科技_第477章 新光刻機 上市?(1)
次日清晨,楚千瀾驅車抵達深藍半導。
二號生產樓的45納米刻設備正有條不紊地運轉,淡紫的極紫外束在晶圓表面勾勒出細紋路,而隔壁的28納米刻產線則被安保守住了出口,空氣中瀰漫著張而肅穆的氣息。
王世傑、張北早己等候在觀察窗前,臉上難掩興與忐忑。
看到楚千瀾走來,兩人立刻迎了上去。
“楚總,設備己完最後校準,源功率穩定在±0.2%,工作台定位度達±0.001微米,各項參數均優於設計標準。”張北遞上數據平板,聲音帶着抑制不住的抖。
楚千瀾目掃過屏幕上跳的實時數據,微微頷首:“開始流片吧,重點監測良率與穩定。”
王世傑抬手示意,技人員立即按下啟按鈕。28納米刻設備發出低沉的嗡鳴,傳送臂準抓取硅晶圓,緩緩送預理模塊。
極紫外源投出比45納米設備更細的束,在晶圓表面刻畫出複雜的電路紋路,每一道線條都銳利如刀,誤差控制在納米級。
觀察窗前,眾人屏息凝視。屏幕上的流片進度條緩慢推進,塗膠、曝、顯影、蝕刻等工序一氣呵。當第一片晶圓完流片,被送檢測設備時,整個車間雀無聲。
“線寬均勻度誤差±0.002微米,符合設計標準!”檢測工程師高聲彙報,聲音打破了死寂,“關鍵電路無橋連、無鋸齒,刻質量完全達標!”
王世傑長舒一口氣,臉上出欣的笑容:“按這個進度,首批100片晶圓將在兩小時完生產,良率初步預估能穩定在92%以上。”
楚千瀾凝視着屏幕上平的參數曲線,眸中閃過一讚許:“92%的良率,超出預期。後續28納米製程的芯片,要轉移到這條新產線上生產。”
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