憑藉一座圖書館,吊打全球科技_第267章 流片成功 文章 次日清晨六點(1)
次日清晨六點,楚千瀾帶着周明遠、鍾長風驅車前往深藍半導。
幾人剛走進車間,就看到王世傑穿着潔凈服站在刻區外等候,臉上帶着熬夜後的疲憊,卻難掩興。
見到楚千瀾一行人,王世傑立刻迎上來,手裡還攥着一份流片準備報告。
“楚總!所有設備都調試到最佳狀態了!掩模版己經完製作,凌晨用測試硅片跑了三模擬流片,刻膠塗覆均勻度穩定在98.6%,離子注機的束流誤差控制在1.0%以,星象指令集態模塊的線寬誤差更是到了±0.009微米,完全滿足180nm製程要求!”
楚千瀾接過報告,目快速掃過關鍵參數,“準備得很充分,沒白費你們熬夜的功夫。流片流程按計劃推進,重點盯刻和蝕刻環節,有任何異常第一時間反饋。”
王世傑重重點頭,側帶着幾人走向潔凈室,“張北團隊己經在刻區待命,學系統的激功率、曝時間都按星途EDA導出的參數校準完畢,就等您一聲令下啟。”
穿過消殺區域,幾人走進刻區。巨大的刻機己預熱完畢,只等程序啟。
王世傑將提前製作好的掩模版安置好,隨後看向了楚千瀾。
“按流程啟。”楚千瀾點頭示意。
王世傑按下啟按鈕,機械臂準抓起晶圓,緩緩送刻腔室。屏幕上,電路圖案在晶圓表面逐步顯影。
“楚總,您看這裡!”周明遠忽然指着屏幕角落的放大圖,語氣帶着抑制不住的興,“星途EDA導出的刻參數與實際顯影效果完全吻合,態模塊的布線拐角沒有出現任何刺!”
楚千瀾俯查看,屏幕上的電路圖案清晰銳利,電源模塊與運算單元的連接線路平流暢,沒有一因刻偏差導致的信號叉。
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