孟祥林的筆一首沒停下來：

“分系統和掃描模塊的採購我記下了，會後我拉個設備清單，肖教授確認一下型號和參數。”

肖宿點了點頭，說道：

“第三項是納米印潔凈間產線，必須百級的。

氣浮平台、印模板、鍍設備，這三個是一套的，一個整條鏈就斷了。”

趙鐵軍這會兒己經徹底放開了，語氣比剛才又熱絡了幾分：

“肖教授，氣浮平台我們有現的，軍工標準的，隔振能比你市面上能買到的高一個量級，做納米印綽綽有餘，印模板的話……”

“模板得自己設計，”肖宿說，“超表面天線陣列的幾何圖案要據最終確定的譜域對消參數來定製，沒有現的。”

“那就涉及到電子束刻做模板母版了，”韓柏岩了一句，“航天那邊有台JBX-6300FS，一百千伏的加速電，線寬能做到十納米以下。做印模板的母版夠了。”

孟祥林抬起頭，推了推眼鏡：

“鍍設備呢？金屬介質金屬三層結構的話，厚控制得在納米量級，得用原子層沉積還是磁控濺？”

“原子層沉積做厚控制更準，”肖宿說，“但三層結構里金屬層用電介質層用ALD的話，界面的附着力可能有問題。

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